Çѹç´ë, ÃÖ÷´Ü Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ºÐ¼®Áö¿ø ¼ºñ½º °³½Ã
- ±³À°ºÎ Áö¿ø¹Þ¾Æ 21¾ï¿ø »ó´çÀÇ ÃÖ÷´Ü Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ±¸Ãà
- Áß¼Ò±â¾÷Àº ¹°·Ð Ÿ ´ëÇÐ ¹× ¿¬±¸±â°ü¿¡ ºÐ¼®Áö¿ø ¼ºñ½º Á¦°ø
- Áß¼Ò±â¾÷Àº ¹°·Ð Ÿ ´ëÇÐ ¹× ¿¬±¸±â°ü¿¡ ºÐ¼®Áö¿ø ¼ºñ½º Á¦°ø
Á¤¹ÎÁØ ±âÀÚÀÔ·Â : 2021. 03. 30(È) 19:39
[»çȸ/CTN]Á¤¹ÎÁØ ±âÀÚ¤Ó±¹¸³ Çѹç´ëÇб³(ÃÑÀå ÃÖº´¿í) °øµ¿½ÇÇè½Ç½À°üÀº ÃÖ±Ù ÃÖ÷´Ü °í°¡ ºÐ¼®ÀåºñÀÎ 200kV ¼öÂ÷º¸Á¤Çü Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æÀ» ±¸ÃàÇÏ°í Áß¼Ò±â¾÷, Ÿ ´ëÇÐ ¹× ¿¬±¸±â°üµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î ºÐ¼®Áö¿ø ¼ºñ½º¸¦ ½ÃÀÛÇß´Ù°í 30ÀÏ ¹àÇû´Ù.
º»Ã¼¸¸ 21¾ï ¿ø¿¡ ´ÞÇÏ´Â ÀÌ Çö¹Ì°æÀº ±³À°ºÎÀÇ ¿¹»ê Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ µµÀÔÇÏ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç ¿ÃÇØ Ãß°¡Áö¿øÀ» ÅëÇØ Áý¼Ó À̿ºö(FIB)À» ±¸ºñÇÏ°Ô µÇ¸é ÀÛÀº ½Ã·á·Î °¡°øÇÏ´Â °úÁ¤µµ °¡´ÉÇÏ°Ô µÇ¾î Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¿î¿µÀÇ ¿ø½ºÅé½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÏ°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ Çö¹Ì°æÀº °üÂû ½Ã·áÀÇ ÃÖ´ë 150¸¸¹è(STEM 800¸¸¹è)±îÁö È®´ëÇØ ºÐ¼® ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, 0.1nm(STEM 0.078nm)ÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ¸·Î ¿øÀÚ´ÜÀ§ ºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇØ ¿©·¯ ¿¬±¸ ºÐ¾ß ƯÈ÷ ³ª³ë¼ÒÀç °³¹ß ºÐ¾ß¿¡ ÀûÇÕÇÑ ÀåºñÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ ´Ù¾çÇÑ °¡½º ÅõÀÔÀ» ÅëÇØ ¹°Áú ÀÚüÀÇ ¹ÝÀÀÀ» ³ª³ë ´ÜÀ§¿¡¼ ½Ç½Ã°£(in-situ)À¸·Î È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
Çѹç´ë ±èÁ¤Çö °øµ¿½ÇÇè½Ç½À°üÀåÀº "À̹ø ±³À°ºÎ Áö¿øÀ» ÅëÇÑ Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ µµÀÔÀ¸·Î ±³³»»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ´ë´öƯ±¸ ³» ¿¬±¸¼Ò, Áö¿ª´ëÇÐ, Áß¼Ò¡¤º¥Ã³±â¾÷ µî¿¡ ÃÖ÷´Ü ºÐ¼® ¼ºñ½º Áö¿øÀÌ °¡´ÉÇÏ°Ô µÆÀ¸¸ç À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ »êÇÐÇù·Â È°µ¿À» È®´ëÇØ ³ª°¥ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí Çѹç´ë °øµ¿½ÇÇè½Ç½À°üÀº 2002³âºÎÅÍ ´ëÇÐÀÇ °í°¡±âÀÚÀ縦 Áß½ÉÀ¸·Î ¿ÜºÎ±â°ü¿¡ ºÐ¼® ±â´ÉÀ» Á¦°øÇÏ¿© ¸Å³â 2õ¿© °ÇÀÇ ºÐ¼® ¼ºñ½º¸¦ Áö¿øÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ±¹Á¦°øÀνÃÇè±â°ü(KOLAS) ¿î¿µ°ú ±â±â Á¤µµ°ü¸® µî ½Å·Ú¼º ³ôÀº µ¥ÀÌÅÍ Á¦°øÀ¸·Î Áö¿ª Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ Á¦Ç°°³¹ß È°µ¿ Áö¿øÀ» ÅëÇÏ¿© »êÇÐÇù·Â È°µ¿¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
º»Ã¼¸¸ 21¾ï ¿ø¿¡ ´ÞÇÏ´Â ÀÌ Çö¹Ì°æÀº ±³À°ºÎÀÇ ¿¹»ê Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ µµÀÔÇÏ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç ¿ÃÇØ Ãß°¡Áö¿øÀ» ÅëÇØ Áý¼Ó À̿ºö(FIB)À» ±¸ºñÇÏ°Ô µÇ¸é ÀÛÀº ½Ã·á·Î °¡°øÇÏ´Â °úÁ¤µµ °¡´ÉÇÏ°Ô µÇ¾î Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ ¿î¿µÀÇ ¿ø½ºÅé½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÏ°Ô µÈ´Ù.
ÀÌ Çö¹Ì°æÀº °üÂû ½Ã·áÀÇ ÃÖ´ë 150¸¸¹è(STEM 800¸¸¹è)±îÁö È®´ëÇØ ºÐ¼® ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, 0.1nm(STEM 0.078nm)ÀÇ ºÐÇØ´ÉÀ¸·Î ¿øÀÚ´ÜÀ§ ºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇØ ¿©·¯ ¿¬±¸ ºÐ¾ß ƯÈ÷ ³ª³ë¼ÒÀç °³¹ß ºÐ¾ß¿¡ ÀûÇÕÇÑ ÀåºñÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ ´Ù¾çÇÑ °¡½º ÅõÀÔÀ» ÅëÇØ ¹°Áú ÀÚüÀÇ ¹ÝÀÀÀ» ³ª³ë ´ÜÀ§¿¡¼ ½Ç½Ã°£(in-situ)À¸·Î È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
Çѹç´ë ±èÁ¤Çö °øµ¿½ÇÇè½Ç½À°üÀåÀº "À̹ø ±³À°ºÎ Áö¿øÀ» ÅëÇÑ Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ µµÀÔÀ¸·Î ±³³»»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ´ë´öƯ±¸ ³» ¿¬±¸¼Ò, Áö¿ª´ëÇÐ, Áß¼Ò¡¤º¥Ã³±â¾÷ µî¿¡ ÃÖ÷´Ü ºÐ¼® ¼ºñ½º Áö¿øÀÌ °¡´ÉÇÏ°Ô µÆÀ¸¸ç À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ »êÇÐÇù·Â È°µ¿À» È®´ëÇØ ³ª°¥ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÇÑÆí Çѹç´ë °øµ¿½ÇÇè½Ç½À°üÀº 2002³âºÎÅÍ ´ëÇÐÀÇ °í°¡±âÀÚÀ縦 Áß½ÉÀ¸·Î ¿ÜºÎ±â°ü¿¡ ºÐ¼® ±â´ÉÀ» Á¦°øÇÏ¿© ¸Å³â 2õ¿© °ÇÀÇ ºÐ¼® ¼ºñ½º¸¦ Áö¿øÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ±¹Á¦°øÀνÃÇè±â°ü(KOLAS) ¿î¿µ°ú ±â±â Á¤µµ°ü¸® µî ½Å·Ú¼º ³ôÀº µ¥ÀÌÅÍ Á¦°øÀ¸·Î Áö¿ª Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ Á¦Ç°°³¹ß È°µ¿ Áö¿øÀ» ÅëÇÏ¿© »êÇÐÇù·Â È°µ¿¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Á¤¹ÎÁØ ±âÀÚ
jil3679@daum.net